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半导体

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Semiconductor Solutions For Emerging Electronics

海洋光学为半导体加工中的等离子蚀刻终点监测和膜厚测量提供光学感测解决方案。我们的光谱仪和配件使得芯片设计和制造一线的研究人员、原始设备制造商和集成商受益匪浅。

解决方案

我们提供用于半导体工艺实时监测和控制的光谱仪:

  • 腔室灭菌
  • 蚀刻终点监测
  • 膜厚测量
  • 沉积
  • 椭偏检测
  • 等离子灰化/清洁

 

光谱仪用于半导体工艺流程监测的优势

  • 实时测量
  • 设备装置具有灵活,适用于终点检测等
  • 稳定性高,在工艺环境中性能可靠
Silicon Wafer With Microchips

以经验和专业知识激发信心

  • 我们拥有数十年的制造经验,可为我们的半导体和工业合作伙伴鼎力提供支持。
  • 从原型设计到生产的合作伙伴关系。我们尽己所能,为客户提供全面服务,其中包括设计、优化、扩展和供应。
  • 凭借我们的海洋光学实验室服务团队,可完成快速可行性测试和评估。 
  • 值得信赖、十分可靠。我们已经通过 ISO9001:2015 认证,是 Halma FTSE 100 成分股公司之一,拥有超过 30 年的经验。
基于光谱的传感器不仅可用于半导体沉积和蚀刻工艺,还可用于腔室灭菌。这些工具可用于优化晶圆产量和质量。

高级蚀刻设备工程师 Benedict Delahunty - GlobalFoundries

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